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矽片用清洗(xǐ)劑常用於切割和拋光後的(de)髒汙清洗
返回列(liè)表 來源: 發布日期: 2025.01.06

隨著半導體產業的(de)不斷發展,矽(guī)片作為半導體製造(zào)中的基礎材(cái)料,其(qí)表麵(miàn)的清潔程度對最終器件性能的影(yǐng)響越(yuè)來越受到(dào)重視。矽片表麵的汙染物,如顆粒、有(yǒu)機物、金屬離子等(děng),可能(néng)對後續(xù)工藝產生不良影響。矽片用清洗劑中的活性物質具有很強的表麵活性,可以在矽片表麵形成一層保(bǎo)護層,有效(xiào)吸附和包裹汙染物,防止汙染物在清洗過程中再次附著到矽片表麵,從而提高後續工藝(yì)的成品率。

矽(guī)片用清洗劑的應用

顆粒物(wù)清除:矽片表麵的顆粒汙染是影響產品良率的重要(yào)因素,清洗劑中的活性成分可以通過物理(lǐ)和化(huà)學作用去除這些顆粒,確保矽片表麵達(dá)到高(gāo)潔淨(jìng)度要求(qiú)。

有機(jī)物去除:矽片在製造過程中可能會受到各種有(yǒu)機物的汙染,如潤滑油、膠水等。這些有機(jī)汙(wū)染物如果不清除幹淨,可能會影響光刻、外延(yán)等工藝的順利進行。清洗劑(jì)中的(de)表麵活性劑能夠與有機物發生作用,徹底去除表麵汙染。

金屬離子去除:金屬離子的存在可能會影響矽片的(de)電氣性能,甚至導致器件失效。矽片清洗劑能夠有效地去(qù)除金(jīn)屬離子,避免其對後(hòu)續工藝造成幹擾。

防(fáng)止二次汙染:矽片清洗劑(jì)的保護層能夠有效防止顆粒的二次(cì)吸附,從而保持(chí)矽片表麵的清潔,為後續的擴散(sàn)、外延等工藝提供優良的表麵環境。

切割後清洗劑:專門用於矽晶片切割後的清(qīng)洗,能夠有(yǒu)效去除(chú)殘留的(de)矽粉、膠水、氧化物及油汙等。這類清洗劑通常含有多種進口表麵活性劑、緩蝕劑及其他助劑,能夠確(què)保矽(guī)片表麵清潔,無白班(bān)、花斑或腐蝕現象。

太陽能電池製造:在太(tài)陽能(néng)電池的製造過程中,矽晶片切割後的清洗尤為重(chóng)要。太陽能電(diàn)池用(yòng)矽晶片清(qīng)洗劑能夠有效去除切割過程中產生的矽粉、膠水、油汙等汙染物,確保矽片表麵沒有損傷(shāng)或不良(liáng)現象(xiàng)。通過精細的清洗過程,可以顯著提高太陽能電池的光電轉換效率。

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